地 址：大連保稅區(qū)海航路9號(hào)
大連力迪流體控制技術(shù)有限公司作為thyracont中國(guó)區(qū)總代理，誠(chéng)摯為各位提供德國(guó)thyracont全系列產(chǎn)品。代理瑞士Thyracont真空計(jì)薄膜沉積行業(yè)
大連力迪提供的thyracont真空計(jì)以及真空控制器應(yīng)用于真空處理的各行各業(yè)。
Thyracont開發(fā)制造智能真空測(cè)量和控制儀器，以對(duì)精度的熱情，為客戶提供真空應(yīng)用服務(wù)，多種制造工藝。我們的真空產(chǎn)品在大型應(yīng)用領(lǐng)域也能提供服務(wù)。應(yīng)用包括，例如過程工業(yè)，涂層，分析和研發(fā)以及半導(dǎo)體和太陽能。
主要應(yīng)用行業(yè)
l 鍍膜設(shè)備
l 旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器
l 真空泵QA
l 凍結(jié)干燥器
l 光譜儀
l 實(shí)驗(yàn)室工作站
l 真空隔離
l 真空包裝
l 泄漏測(cè)試
Thryacont提供高精度的皮拉尼壓阻復(fù)合真空計(jì)、皮拉尼熱陰極、皮拉尼冷陰極復(fù)合真空計(jì)，精度高，滿足PVD鍍膜（濺射鍍膜）的高精度真空度檢測(cè)。代理瑞士Thyracont真空計(jì)薄膜沉積行業(yè)
l 皮拉尼/熱陰極：VSH 1000到5x10~10mbar
l 皮拉尼/冷陰極：VSM 1000到5x10~9mbar
l 壓阻/皮拉尼：VSR 1200到1x 10~4mbar
l 皮拉尼：VSP1000到1x10~mbar
l 壓阻規(guī)：VSC43 1400到1mbar Piezo
l 電容規(guī)：VCC200 200到1x 10mbar
真空表優(yōu)勢(shì)：
• 具有16bar的超壓穩(wěn)定性，無需超壓閥，節(jié)約成本
• 響應(yīng)速度快，精度高
• 防護(hù)等級(jí)最高可達(dá)IP54
• 法蘭處耐溫度，高達(dá)160攝氏度
• 輸出信號(hào):4-20mA,0- 10v, RS485, EtherCAT, Profinet滿足不同的控制系統(tǒng)連接
l PVD鍍膜的核心流程節(jié)點(diǎn)
2 PVD鍍膜流程主要分為粗抽階段、高抽階段、工藝沉積階段、后處理階段四個(gè)核心節(jié)點(diǎn)，每個(gè)節(jié)點(diǎn)對(duì)真空度的測(cè)量需求不同：
2 粗抽階段：從大氣壓力抽至102~10?1Pa，需要快速監(jiān)測(cè)低真空區(qū)間的壓力變化，判斷粗抽是否完成
2 高抽階段：從10?1Pa抽至10??~10??Pa，需要精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)高真空/超高真空區(qū)間的壓力，確保本底真空達(dá)標(biāo)
2 工藝沉積階段：根據(jù)不同工藝（蒸發(fā)/濺射/離子鍍）維持特定真空度，可能需要通入反應(yīng)氣體，需動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)真空度波動(dòng)
2 后處理階段：鍍膜完成后充氣或泄壓，需監(jiān)測(cè)真空度從高到低的變化，確保安全操作
PVD濺射鍍膜：
l 標(biāo)準(zhǔn)配置（3臺(tái)真空計(jì)）
• 1臺(tái)皮拉尼電阻真空計(jì)：負(fù)責(zé)粗抽階段的低真空測(cè)量---VSR53/VCR53
• 1臺(tái)冷、熱陰極電離真空計(jì)：負(fù)責(zé)高抽階段的高真空測(cè)量---VSM77/VSH87
• 1臺(tái)電容式薄膜真空計(jì)：負(fù)責(zé)工藝沉積階段的動(dòng)態(tài)真空度監(jiān)測(cè)（量程10?~10?3Pa）
• 適用場(chǎng)景：中型工業(yè)PVD生產(chǎn)線、對(duì)薄膜質(zhì)量要求較高的裝飾鍍膜或功能鍍膜工藝
l 優(yōu)勢(shì)：電容式薄膜真空計(jì)的響應(yīng)速度快、抗污染能力強(qiáng)，能精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)工藝沉積階段因通入反應(yīng)氣體導(dǎo)致的真空度波動(dòng)，保證薄膜成分均勻
l 劣勢(shì)：仍無法同時(shí)監(jiān)測(cè)多個(gè)腔體的真空度，若設(shè)備具有多個(gè)沉積腔體，可能存在測(cè)量盲區(qū)
l 配置（4臺(tái)及以上真空計(jì)）
• 2臺(tái)皮拉尼電阻真空計(jì)：分別負(fù)責(zé)粗抽階段和后處理階段的低真空測(cè)量，避免交叉污染—VSR53/VSR54
• 1臺(tái)熱陰極電離真空計(jì)：負(fù)責(zé)高抽階段的高真空測(cè)量---VSH87
• 1臺(tái)冷陰極電離真空計(jì)：負(fù)責(zé)工藝沉積階段的超高真空測(cè)量---VSM77
• 額外的電容式薄膜真空計(jì)（按需配置）：每個(gè)沉積腔體配置1臺(tái)，監(jiān)測(cè)各腔體的真空度
• 適用場(chǎng)景：大型多腔體PVD設(shè)備、半導(dǎo)體晶圓鍍膜等對(duì)真空度精度要求高的工藝
l 優(yōu)勢(shì)：多臺(tái)真空計(jì)分工明確，獨(dú)立監(jiān)測(cè)不同階段和腔體的真空度，確保每個(gè)環(huán)節(jié)的真空度精度都能滿足工藝要求，避免因單一真空計(jì)故障導(dǎo)致生產(chǎn)停滯
l 劣勢(shì)：設(shè)備成本和維護(hù)成本較高，對(duì)操作人員的專業(yè)要求也更高
